Mikro pompa udara banyak digunakan secara umum Kedokteran dan Kesehatan, penelitian ilmiah, laboratorium, perlindungan lingkungan, alat dan instrument, industri kimia dan industri lainnya terutama merujuk mikro pompa vakum.
Dibandingkan dengan pompa vakum besar, memiliki keuntungan sebagai berikut: ukuran kecil, kebisingan rendah, rendah konsumsi daya, mudah untuk beroperasi, mudah untuk membawa, bebas perawatan, 24 jam terus beroperasi, dan juga memungkinkan medium untuk menjadi kaya dalam uap air. Paling penting, karena kering dan bebas minyak, tidak memerlukan pompa vakum minyak atau minyak pelumas, sehingga tidak mencemari media bekerja, dan tidak mengganggu dengan analisis media.
Dan harga jauh lebih murah. Dengan aplikasi yang luas dari pompa vakum miniatur di berbagai bidang dan peningkatan teknologi vakum, kinerja pompa vakum miniatur telah terus-menerus diperbaiki dan beberapa bidang telah mampu menggantikan besar pompa vakum.