Vakum teoritis dan vakum akhir adalah konsep serupa, yang sering digunakan dalam bidang peralatan vakum industri, seperti pompa vakum miniatur, pompa udara miniatur, pompa sampling gas miniatur, pompa sirkulasi gas miniatur, dll. Ketika nilai tekanan rendah sebagai 0, yang disebut kekosongan teoritis, vakum tertinggi, berarti bahwa tidak ada masalah (termasuk molekul, atom, dll.) di negara bagian, yang hanya merupakan keadaan teoritis dan tidak dapat dicapai dalam praktek.
Semakin rendah nilai tekanan, yaitu semakin tinggi tingkat vakum, semakin dekat ke vakum teoritis dan vakum akhir, dan semakin baik kinerja vakum pompa. Namun, persyaratan yang sesuai pada kehidupan material, kondisi penyegelan, keakuratan pemesinan bagian dan sebagainya juga sangat ditingkatkan.
Dengan perkembangan industri instrumen dan meter dan kebutuhan masyarakat untuk perlindungan lingkungan, ada permintaan yang meningkat untuk pompa vakum miniatur dengan harga yang relatif rendah, tidak ada minyak atau polusi, konsumsi daya yang rendah dan ukuran yang kompak.